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常见的低温等离子体的产生方式

【来源：】 2015.02.02

常见的低温等离子体产生方式有以下几大类：

（1）辉光放电：低压气体中显示辉光的气体放电现象，即是稀薄气体中的自持放电（自激导电）现象。其特点如下：

①低气压下进行，需要真空条件；

②难以连续生产，生产效率低；

③能耗大、成本高。

（2）电晕放电：在曲率半径很小的尖端电极附近，由于局部电场强度超过气体的电离场强，使气体发生电离和激发。其特点如下：

①等离子体活性空间小，仅限于电晕极附近；

②在略高的外加电压下极易击穿形成火花放电。

（3）介质阻挡放电：有绝缘介质插入放电空间的一种非平衡态气体放电。其特点如下：

①产生的等离子体密度大；

②电介质在放电过程中起到储能作用，使放电稳定；

③能抑制火花放电的产生；

④保护高压电极不受气体的腐蚀。

常见的低温等离子体的产生方式低温等离子协同催化吸附有机废气治理技术